Comment sécher les wafer MEMS sans problèmes
Lors de la fabrication de capteurs MEMS, la dernière chose dont on a besoin, c’est qu’une goutte de humidité ou une tache de solvant vienne gâcher tout le travail accompli. Mais voici le problème : il faut que ces wafer soient complètement secs, sans pour autant endommager le matériau ou permettre l’intrusion de contaminants.
C’est pourquoi nous utilisons des chauffeurs à infrarouges à courte longueur d’onde. Au lieu de chauffer toute la pièce – ce qui est une perte de temps et d’énergie – les rayons infrarouges transmettent leur énergie directement à la surface du wafer. C’est plus efficace et plus propre.
Pourquoi ça marche
Pensez à un four conventionnel : il consacre la moitié de son énergie à chauffer l’air. C’est inefficace. Les rayons infrarouges, eux, émettent des photons qui font vibrer les molécules d’eau, ce qui favorise une évaporation rapide. Comme la chaleur est ciblée, l’équipement n’a pas besoin d’être très volumineux. De plus, avec le passage de l’industrie vers des produits moins polluants et moins gourmands en énergie, les rayons infrarouges sont idéaux. Il n’y a pas besoin de catalyseurs chimiques ni de systèmes de ventilation complexes qui risquent de provoquer des fuites de particules.
Il faut trouver un équilibre
Il ne s’agit pas seulement d’augmenter la température. Il faut aussi faire attention aux variations de température. Les lampes à haute intensité sont utiles pour accélérer le processus, mais il y a un risque : si la position de la lampe n’est pas parfaite ou si le contrôle de l’énergie n’est pas adapté, des zones surchauffées peuvent apparaître. Sur un wafer de 300 mm, cela peut entraîner des déformations ou même la destruction des structures MEMS fragiles.
Pour éviter cela, nous combinons les chauffeurs avec des contrôleurs PID précis. Nous utilisons également un vide ou un gaz inerte pour éviter que le wafer ne s’oxyde. Tout repose sur le contrôle précis.
Adapter l’équipement à votre ligne de production
Nous avons conçu ces systèmes pour qu’ils puissent remplacer facilement les anciens fours thermiques complexes. Nous utilisons des enveloppes en quartz pour empêcher les ions métalliques de se déplacer sur les wafer. Le câblage est également simplifié. Le système peut s’allumer et s’éteindre en quelques millisecondes, ce qui vous permet d’éviter que le wafer n’atteigne une température trop élevée et de nuire au lot en cours de traitement.
Et quand une lampe tombe en panne ? Vous n’avez pas besoin de démonter toute la ligne de séchage. Il suffit de remplacer le module et de reprendre le travail.