כיצד לייבש את שבבי MEMS ללא בעיות
כאשר מייצרים חיישני MEMS, הדבר האחרון שרוצים הוא שטיפה של לחות או כתם של חומר ממס יקלקלו את התהליך. אך הבעיה היא שיש לייבש את השבבים לחלוטין, מבלי לפגוע בחומר או לאפשר לחומרים מזהמים לחדור פנימה.
לכן אנו משתמשים בחיממים באור אינפרא-אדום באורך גל קצר. במקום לחמם את כל החדר – מה שמבזבז זמן ואנרגיה – האור האינפרא-אדום שולח אנרגיה ישירות לפני השבב. זה יעיל ונקי.
למה זה עובד
חשבו על תנור רגיל. הוא מבזבז חצי מהאנרגיה שלו רק כדי לחמם את האוויר. זה לא יעיל. האור האינפרא-אדום שונה – הוא שולח פוטונים שגורמים למולקולות המים לרטוט, מה שמאיץ את תהליך האידוי.
מכיוון שהחום מופנה בצורה מדויקת, אין צורך בציוד גדול. בנוסף, ככל שהתעשייה עוברת לשימוש בחומרים שאינם פולטים חומרים מזהמים, האור האינפרא-אדום הופך לפתרון אידיאלי. אין צורך בקטליזטורים כימיים או במערכות אוורור גדולות שעלולות לגרום לחדירה של חומרים מזהמים.
שליטה בטמפרטורה
העניין אינו רק בהגברת החום. עלינו להיות זהירים בשליטה בטמפרטורה. נורות בעלות עוצמה גבוהה יכולות לקצר את הזמן הדרוש לייבוש, אך יש סיכון: אם מיקום הנורה אינו מדויק או שהשליטה בעוצמת החום אינה טובה, עלולים להיווצר “נקודות חם”. על שבב בגודל 300 ממ, זה עלול לגרום לעיוות או לפגיעה במבנים העדינים של ה-MEMS.
כדי למנוע זאת, אנו משתמשים בבקרי PID מדויקים. בנוסף, אנו משתמשים בוואקום או בגז אינרטי כדי שהשבב לא יתחמם יותר מדי. הכל תלוי בשליטה מדויקת.
התאמה לקו הייצור שלכם
בנינו את המערכות האלו כתחליף פשוט לתנורים הישנים והמסורבלים. אנו משתמשים במעטפות קוורץ כדי למנוע חדירה של יוני מתכת לשבבים. החיבורים גם הם יעילים. המערכת יכולה להידלק ולהיכבות בתוך מילישניות, כך שאין צורך לדאוג שהשבב יגיע לטמפרטורה גבוהה מדי ויקלקל את התהליך.
וכשהנורה נהרסת? אין צורך להרוס את כל קו הייבוש. יש רק להחליף את הנורה ולהמשיך בעבודה.