http://radiant-ir-heater.com/he/tags/%D7%A4%D7%95%D7%A1%D7%98/ Recent content in פוסט on Radiant Infrared Heating Hugo he Tue, 23 Jun 2026 13:22:11 +0800 http://radiant-ir-heater.com/he/posts/post-cleaning-wafer-infrared-heater/ Tue, 23 Jun 2026 13:22:11 +0800 http://radiant-ir-heater.com/he/posts/post-cleaning-wafer-infrared-heater/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="חיממן באינפרא אדום ללוחות לאחר ניקוי"></p> <p>בחדר הייצור, לחות קלה שנשארת לאחר הניקוי, יחד עם גדילה מחודשת של האוקסידים הטבעיים על פני השטח, עלולים לפגוע באחיזת הפוטורזיסט, מבלי שנדע על כך. עלייה איטית בטמפרטורה או נקודות חום מסוימות עלולות לפגוע בתהליך הייבוש. ניתן לראות את ההשלכות של כך מאוחר יותר – אובדן אחיזה של החומרים לאחר החריטה, או בעיות בתהליך הליתוגרפיה. ייצרנו מחמם תת-אדום שמסייע להיפטר מבעיות אלו.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> המחמם משתמש בגלי תת-אדום לטווח קצר, דרך מסלול אופטי ללא קוורץ, כך שאין סיכוי להוספת חלקיקים. דבר זה מאפשר שליטה מדויקת בטמפרטורה, חשובה מאוד לתפעול בחדרי ניקוי מסוג Class 1–100. האחידות בטמפרטורה על פני כל הוופר נשמרת בטווח של ±0.1°C, כך שתהליך הייבוש נשאר קבוע וחזרתי, מדף לדף. התגובה של המחמם מהירה, כך שניתן לשלוט בטמפרטורה בצורה אפקטיבית, מבלי לחרוג מהטמפרטורה הרצויה. המחמם יכול לעבוד עם שיטות ייבוש רגילות וגם עם שיטות ייבוש אינטנסיביות, וניתן להשתמש בו במערכות ייבוש שונות.</p>