http://radiant-ir-heater.com/he/tags/%D7%A7%D7%A6%D7%A8/ Recent content in קצר on Radiant Infrared Heating Hugo he Mon, 01 Jun 2026 00:02:56 +0800 http://radiant-ir-heater.com/he/posts/short-wave-infrared-lamp-semiconductor/ Mon, 01 Jun 2026 00:02:56 +0800 http://radiant-ir-heater.com/he/posts/short-wave-infrared-lamp-semiconductor/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="נורה אינפרא אדום קצר גל חצי מוליך"></p> <p>בקומת הליתוגרפיה, הזמן אף פעם לא עומד לצידך. אפייה רכה שסטה אפילו ב-2°C מזיזה את אידוי הממס, משנה את אופן זרימת הפוטורזיסט ודוחפת את בקרת הממדים הקריטיים מחוץ למפרט. חוסר יציבות באפייה הקשה גורם לסקאמינג ואובדן הדבקה, וכל פרוסת סיליקון שנפסלת עולה לך בזמן, בכימיקלים ובקיבולת חדר הנקי. בקרת טמפרטורה אינה &ldquo;נחמדות&rdquo; – זו גבול תהליך.</p> <p>בחרנו במנורות אינפרא-אדום קצר גל (SWIR) לעבודה תרמית בסמיקונדקטור כי הן מפזרות אנרגיה ישירות אל הפוטורזיסט והתת-שכבה, במהירות ובבקרה אמיתית. תחום האורך גל מספק חימום מהיר, וולומטרי, עם אינרציה תרמית נמוכה במנורה עצמה, כך שהמערכת יכולה לעקוב במהירות אחר נקודות היעד לאורך שלבי האפייה ולשמור על יציבות בזמן השרייה.</p>