http://radiant-ir-heater.com/he/tags/%D7%A8%D7%96%D7%99%D7%A1%D7%98-%D7%9C%D7%A6%D7%99%D7%9C%D7%95%D7%9D/ Recent content in רזיסט לצילום on Radiant Infrared Heating Hugo he Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800 http://radiant-ir-heater.com/he/posts/effective-photoresist-bake-with-ir/ Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800 http://radiant-ir-heater.com/he/posts/effective-photoresist-bake-with-ir/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="אפייה יעילה של פוטורזיסט באמצעות אינפרא אדום"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 0.5°C בטמפרטורת האפייה יכול לגרום להרס של כל המוצרים שיוצרו. אפייה רכה מסייעת להוצאת החומרים הממסים בצורה יעילה; אפייה קשה, לעומת זאת, מבטיחה שהפרופיל הטמפרטורי יישאר יציב. כאשר האחידות התרמית אינה מושגת, שליטה בגודל החלקיקים נפגעת, ומספר החלקיקים עולה.</p> <p><strong>מה בנינו, ולמה זה חשוב</strong><br> התקננו את מודול האפייה על גבי גופי פליטה של קרינת NIR באורך גל קצר, יחד עם מערכת חימום משופרת באמצעות קוורץ. זה מאפשר אחידות בטמפרטורה של ±0.1°C בכל שטח הוואפר, ויציבות בטמפרטורה לאורך כל שעות העבודה. המערכת תואמת את סטנדרטים של חדרי ניקיון מסוג 1 עד 100, ואינה פולטת חלקיקים במהלך האפייה. הטמפרטורות במהלך האפייה נשארות יציבות מלאי למלאי.</p>