אפייה יעילה של פוטורזיסט באמצעות אינפרא אדום
בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 0.5°C בטמפרטורת האפייה יכול לגרום להרס של כל המוצרים שיוצרו. אפייה רכה מסייעת להוצאת החומרים הממסים בצורה יעילה; אפייה...
מנורת אפייה למעגל ספין
על רצפת הליתוגרפיה, האפייה אינה הפסקה — היא הקו בחול. אפייה רכה מסלקת את ממס הפוטורזיסט. אפייה קשה נועלת את דמות המסכה לפני החריטה. אם המנורה מתחילה...