फैब्रिकेशन प्रक्रियाओं को सुधारना: आईआर हीटिंग ही सही विकल्प है
यदि आप सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं में अपने कार्बन फुटप्रिंट को कम करना चाहते हैं, तो आपको पुरानी थर्मल प्रक्रियाओं पर विचार करना होगा। वे पुरानी एवं अप्रभावी हैं। सबसे बड़ा लाभ तो ऐसे पुराने हीटिंग उपकरणों को हटाकर इन्फ्रारेड हीटिंग का उपयोग करने से ही मिलेगा।
हवा को गर्म करना बंद करें
पारंपरिक हीटिंग विधियाँ बेकार हैं। इनमें ऊर्जा का उपयोग केवल चेंबर की हवा को गर्म करने में ही होता है… जबकि वास्तव में तो वेफर/सब्सट्रेट को ही गर्म करने की आवश्यकता है। यह बेकार ही है।
आईआर हीटिंग में ऊर्जा सीधे वेफर/सब्सट्रेट तक पहुँचती है… यह बहुत ही प्रभावी विधि है। इससे वेफर को गर्म करने में लगने वाला समय कई घंटों से घटकर कुछ सेकंड ही रह जाता है।
हार्डवेयर संबंधी वास्तविकताएँ
हमारे फैब्रिकेशन उपकरणों में आमतौर पर क्वार्ट्ज आवरण वाले हैलोजन फिलामेंट वाले लैंप ही उपयोग में आते हैं। ये बहुत ही प्रभावी हैं… लेकिन इनसे बहुत गर्मी उत्पन्न होती है।
यदि आप उच्च-वाटेज वाले लैंपों का उपयोग करें, तो ठंडक देने हेतु फैन एवं हीट एक्सचेंजरों की आवश्यकता होती है… वरना फिलामेंट जल जाएँगे।
एक और महत्वपूर्ण बात… कनेक्टरों का चयन। हम प्रीसिजन कनेक्टरों का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि ढीले कनेक्टरों से प्रतिरोध उत्पन्न होता है… और वहीं से ही गर्मी उत्पन्न होती है… जिससे उपकरण खराब हो जाते हैं।
आपके KPIs पर इसका क्या प्रभाव पड़ेगा?
अंत में, आईआर हीटिंग का उपयोग करने से प्रति वेफर कम ऊर्जा ही खर्च होती है।
इसके अलावा, ऐसे उपकरणों को रखने हेतु कम जगह ही आवश्यक है… जिससे क्लीनरूम की जगह भी बच जाती है… जो कि एक बड़ी बचत है।
यदि आप पुराने हीटरों को हटाकर आईआर हीटरों का उपयोग करें, तो ऊर्जा की बचत 30% से 50% तक हो सकती है… यह तो कार्बन न्यूट्रैलिटी की ओर बढ़ने का बहुत ही आसान तरीका है… बिना उत्पादन प्रक्रिया में कोई रुकावट आए।