आईआर on Radiant Infrared Heating

आईआर एमिटर के लिए सिरेमिक एंड कैप

Sat, 25 Jul 2026 02:53:25 +0800

जहाँ वास्तव में ऊष्मा की आवश्यकता है, वहीं अधिक ऊष्मा प्राप्त करना संभव है – गोल्ड-कोटेड आईआर एमिटर्स के द्वारा।
जब सिलिकॉन वेफरों को गर्म किया जाता है, तो हर एक ऊर्जा-इकाई महत्वपूर्ण होती है। सामान्य आईआर एमिटर्स की समस्या यह है कि वे ऊष्मा को बाहर छोड़ देते हैं; इससे ऊर्जा बर्बाद हो जाती है, एवं मशीन भी अनावश्यक रूप से गर्म हो जाती है।
हमने इस समस्या का समाधान क्वार्ट्ज पर सोने की परत लगाकर किया।
सोना क्यों? क्योंकि सोना इन्फ्रारेड विकिरण को परावर्तित करने में बेहतरीन है। एल्यूमीनियम या पॉलिश्ड स्टील ऐसा नहीं कर सकते। एमिटर के पिछले हिस्से पर सोने की परत लगाने से ऊष्मा वेफरों की ओर ही वापस जाती है।
इससे ऊर्जा-आपूर्ति बढ़ाए बिना ही सतह का तापमान बढ़ जाता है… यह बेहद कुशल तरीका है।
लेकिन क्वार्ट्ज ही एकमात्र महत्वपूर्ण घटक नहीं है… आपको उन एंड कैपों पर भी ध्यान देना होगा, जहाँ विद्युत प्रवाह ट्यूब तक पहुँचता है। हम यहाँ उच्च-गुणवत्ता वाले सिरेमिक का उपयोग करते हैं… क्योंकि यहाँ तापमान में बहुत अधिक उतार-चढ़ाव होता है।
सस्ते कैप ऐसी ऊष्मा को सहन नहीं कर पाते… वे टूट जाते हैं, इलेक्ट्रोड ऑक्सीकृत हो जाते हैं… या फिर वे जलकर खराब हो जाते हैं… यह ट्यूब को नष्ट करने का एक आसान तरीका है। हमारे सिरेमिक कैप ऐसी स्थितियों में भी सिस्टम को स्थिर रखते हैं।
अब, कुछ बातें ध्यान में रखने योग्य हैं… इस सेटअप से बहुत अधिक ऊष्मा उत्पन्न होती है… इसलिए वेफर बहुत जल्दी ही गर्म हो जाते हैं… आपको अपने PID कंट्रोलरों की जाँच अवश्य करनी होगी, ताकि तापमान लक्ष्य से अधिक न बढ़ जाए।
साथ ही, सोना थोड़ा संवेदनशील है… यदि वातावरण गंदा है, तो सोने की परत क्षतिग्रस्त हो जाती है… इसलिए वातावरण को स्वच्छ रखना आवश्यक है।
सबसे अच्छी बात यह है कि ये उत्पाद आसानी से प्रतिस्थापित किए जा सकते हैं… आपको अपने उपकरणों को फिर से बनाने की आवश्यकता नहीं है… बस इन्हें अपने मौजूदा पावर सिस्टम में जोड़ दें… बाकी का काम सोना ही कर देगा।
वेफरों पर अधिक ऊष्मा… हवा में कम ऊष्मा… इतना ही।

वेफरों के लिए उच्च सटीकता वाला आईआर सेंसर

Sat, 25 Jul 2026 02:32:29 +0800

हवा को गर्म करना बंद करें: वेफरों को संसाधित करने का एक बेहतर तरीका

चलिए, पुराने रेजिस्टिव ओवनों के बारे में बात करते हैं। ये तो काम तो करते हैं, लेकिन वास्तव में ये तो बड़े-बड़े हीटर ही हैं। वेफर को सही तापमान तक पहुँचाने हेतु पूरे चेंबर एवं उसमें मौजूद हवा को गर्म करने हेतु बहुत सारी ऊर्जा खर्च होती है… यह तो बेकार ही है।
इसीलिए हमने इन्फ्रारेड गर्मी का उपयोग शुरू किया। अब हम पूरे कमरे को गर्म करने के बजाय, सीधे ही वेफर पर ही गर्मी डालते हैं। यह तरीका अधिक कुशल है… और इससे क्लीनरूम में अनावश्यक ऊर्जा की खपत भी नहीं होती।

आईआर लैंप के लिए एल्यूमीनियम रिफ्लेक्टर

Sun, 28 Jun 2026 01:46:52 +0800

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, वेफर पर होने वाला आधा डिग्री का विचलन ही प्रक्रिया को जटिल बना सकता है। इसलिए ही “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं को सख्ती से नियंत्रित किया जाता है… क्योंकि तापमान की एकरूपता ही वेफर पर उत्पन्न होने वाली रेखाओं की चौड़ाई को निर्धारित करती है। और यह नियंत्रण तो IR लैंप प्रणाली से ही शुरू होता है।

वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम IR लैंपों के लिए एल्यूमिनियम रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं… ताकि उत्सर्जित ऊष्मा नियमित एवं स्थानिक रूप से स्थिर रहे। इस रिफ्लेक्टर की ज्यामिति ऐसी होती है कि प्रकाश वेफर पर समान रूप से फैले… ताकि तापमान में ±0.1°C की एकरूपता बनी रहे। सतह को ऐसे ही सील किया जाता है कि वह क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सके… बिना किसी गैस उत्सर्जन के।

आईआर का उपयोग करके प्रभावी फोटोरेजिस्ट सुखाना

Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, बेकिंग तापमान में 0.5°C का ही अंतर पूरे उत्पादन सेट को नष्ट करने के लिए पर्याप्त है। “सॉफ्ट बेक” का उद्देश्य विलायकों को साफ़ करना है; जबकि “हार्ड बेक” का उद्देश्य प्रोफ़ाइल को स्थिर रखना है। जब तापीय समानता बिगड़ जाती है, तो CD नियंत्रण व्यवस्था विफल हो जाती है, एवं कणों की संख्या में वृद्धि हो जाती है।

हमने क्या बनाया, एवं यह क्यों महत्वपूर्ण है?
हमने बेकिंग मॉड्यूल को क्वार्ट्ज-सुदृढ़ीकृत थर्मल स्टैक वाले शॉर्ट-वेव NIR एमिटरों पर लगाया। इससे वेफर पर ±0.1°C की समानता बनी रहती है, एवं सेटपॉइंट स्थिर रहता है। यह क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सकता है; एवं बेकिंग के दौरान कोई कण नहीं निकलते। फोटोरेसिस्ट के तापीय प्रोफ़ाइल भी हर बार समान ही रहते हैं।