http://radiant-ir-heater.com/hi/tags/%E0%A4%AB%E0%A5%8B%E0%A4%9F%E0%A5%8B%E0%A4%B0%E0%A5%87%E0%A4%9C%E0%A4%BF%E0%A4%B8%E0%A5%8D%E0%A4%9F/ Recent content in फोटोरेजिस्ट on Radiant Infrared Heating Hugo hi Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800 http://radiant-ir-heater.com/hi/posts/effective-photoresist-bake-with-ir/ Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800 http://radiant-ir-heater.com/hi/posts/effective-photoresist-bake-with-ir/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="आईआर का उपयोग करके प्रभावी फोटोरेजिस्ट सुखाना"></p> <p>लिथोग्राफी प्रक्रिया में, बेकिंग तापमान में 0.5°C का ही अंतर पूरे उत्पादन सेट को नष्ट करने के लिए पर्याप्त है। “सॉफ्ट बेक” का उद्देश्य विलायकों को साफ़ करना है; जबकि “हार्ड बेक” का उद्देश्य प्रोफ़ाइल को स्थिर रखना है। जब तापीय समानता बिगड़ जाती है, तो CD नियंत्रण व्यवस्था विफल हो जाती है, एवं कणों की संख्या में वृद्धि हो जाती है।</p> <p><strong>हमने क्या बनाया, एवं यह क्यों महत्वपूर्ण है?</strong><br> हमने बेकिंग मॉड्यूल को क्वार्ट्ज-सुदृढ़ीकृत थर्मल स्टैक वाले शॉर्ट-वेव NIR एमिटरों पर लगाया। इससे वेफर पर ±0.1°C की समानता बनी रहती है, एवं सेटपॉइंट स्थिर रहता है। यह क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सकता है; एवं बेकिंग के दौरान कोई कण नहीं निकलते। फोटोरेसिस्ट के तापीय प्रोफ़ाइल भी हर बार समान ही रहते हैं।</p>