Mengeringkan Wafer MEMS Tanpa Masalah
Saat memproduksi sensor MEMS, hal terakhir yang diinginkan adalah adanya tetesan kelembapan atau noda pelarut yang merusak hasil produksi. Namun, masalahnya adalah bagaimana mengeringkan wafer tersebut tanpa merusak bahan tersebut atau membiarkan kontaminan masuk ke dalamnya.
Itulah sebabnya kita menggunakan pemanas berbasis gelombang inframerah pendek. Alih-alih memanaskan seluruh ruangan—yang merupakan pemborosan waktu dan energi—gelombang inframerah mengirim energi langsung ke permukaan wafer. Cara ini lebih efisien.
Mengapa cara ini efektif?
Coba bayangkan oven konvensional tradisional. Energi yang digunakan sebagian besar digunakan untuk memanaskan udara saja. Itu sangat tidak efisien. Berbeda dengan gelombang inframerah; ia mengirim foton yang menyebabkan molekul air bergetar, sehingga proses penguapan berlangsung lebih cepat. Karena panasnya sangat terfokus, peralatan yang digunakan pun tidak perlu besar. Selain itu, karena industri semakin menghindari penggunaan bahan kimia berbahaya dan sistem ventilasi yang boros energi, maka gelombang inframerah merupakan pilihan yang tepat. Anda tidak perlu menggunakan katalis kimia atau sistem sirkulasi udara yang cenderung menyebabkan partikel-partikel berbahaya masuk ke dalam wafer.
Keseimbangan antara suhu dan efisiensi
Bukan hanya soal meningkatkan suhu saja. Kita juga perlu berhati-hati dengan peningkatan suhu secara bertahap. Lampu berintensitas tinggi memang efektif untuk mempercepat proses pengeringan, tetapi ada risikonya. Jika posisi lampu tidak tepat atau kontrol suhunya tidak akurat, maka akan terjadi “titik panas” pada wafer. Pada wafer berukuran 300 mm, hal ini dapat menyebabkan kerusakan pada struktur MEMS yang rapuh tersebut.
Untuk mencegah hal ini, kita menggunakan kontroler PID yang presisi. Kami juga biasanya menggunakan sistem vakum atau gas inert agar wafer tidak teroksidasi. Semua ini dilakukan demi mendapatkan kontrol yang baik atas proses pengeringan.
Menyesuaikan sistem sesuai kebutuhan
Kami merancang sistem ini agar dapat digunakan sebagai pengganti oven konvensional yang rumit. Kami menggunakan kemasan kuarsa untuk mencegah ion logam masuk ke dalam wafer. Kabel-kabelnya juga dirancang sedemikian rupa agar sistem dapat dihidupkan dan dimatikan dalam hitungan milidetik. Dengan demikian, Anda tidak perlu khawatir bahwa suhu wafer akan melebihi batas yang ditentukan dan merusak produk yang dihasilkan.
Dan ketika lampu mulai rusak? Anda tidak perlu membongkar seluruh sistem pengeringan tersebut. Cukup ganti modul lampunya saja, lalu lanjutkan pekerjaan Anda.