Lampada a infrarossi _con unità a lama d aria

Thu, 25 Jun 2026 01:38:41 +0800

Nella fase di litografia, si sa bene che anche una variazione di 0,5°C nella temperatura di cottura può causare modifiche nelle dimensioni critiche dei componenti, con conseguente produzione di scarti in gran numero. Per questo abbiamo progettato la lampada a infrarossi insieme a un sistema a lama d’aria, al fine di mantenere la temperatura desiderata esattamente dove è necessario, ovvero sulla superficie del wafer, in modo costante, shift dopo shift.

Precisione di riscaldamento a infrarossi: uniformità e ripetibilità su scala sub-millimetrica
Il sistema sfrutta emettitori a onde corte per trasferire rapidamente energia direttamente nel fotorestri. Il controllo a ciclo chiuso mantiene la temperatura entro valori compresi tra ±0,1°C. La struttura basata sul quarzo garantisce una distribuzione termica stabile e ripetibile, con uniformità su scala sub-millimetrica, il che permette di ottenere risultati precisi.

Aria on Radiant Infrared Heating

Lampada a infrarossi _con unità a lama d aria