Riscaldatore a infrarossi a onda media per wafer

Sun, 31 May 2026 02:41:23 +0800

Sul pavimento, la linea è in funzione. Le celle di litografia fanno cicli di wafer attraverso soft bake e hard bake, e i setpoint di temperatura sono bloccati. Qualche grado di deriva sul wafer, un punto freddo vicino al bordo o un riscaldatore che scatta sotto carico possono silenziosamente compromettere la resa. Non stai pagando solo per wafer scartati. Stai pagando in capacità persa, finestre di manutenzione d’emergenza e profili di fotoresist che si discostano dalle regole di progettazione.
Qui entrano in gioco i riscaldatori a infrarossi a media onda. Forniscono l’energia termica uniforme e ripetibile di cui gli strumenti per semiconduttori hanno bisogno, senza la variabilità che si manifesta come errore nella larghezza della linea, scarsa adesione o trascinamento del solvente.

Medio on Radiant Infrared Heating

Riscaldatore a infrarossi a onda media per wafer