Miglior prezzo per lampade sistema RTP

Tue, 02 Jun 2026 04:00:23 +0800

Sul piano di produzione, uno scostamento di mezzo grado durante il soft bake o l’hard bake è sufficiente a compromettere il controllo della linewidth e l’uniformità del CD. Il budget termico non ammette compromessi. Quando le lampade RTP non raggiungono il valore previsto, non si paga solo il costo delle lampade, ma anche lo scarto e le rilavorazioni.

Produciamo lampade RTP — a onde corte, onde medie e in fibra di carbonio — capaci di mantenere l’uniformità della temperatura a livello wafer entro ±0,1°C nell’intervallo di processo. Componenti in quarzo e assemblaggi sigillati azzerano la generazione di particelle, consentendo di restare all’interno della classe di pulizia 1–100 della cleanroom. L’output rimane costante entro il 2% per oltre 5.000 ore, e le velocità di rampa elevate mantengono le ricette ad alta produttività senza comprometterne la ripetibilità. Terminazioni di precisione e impedenza abbinata permettono l’integrazione diretta in piattaforme RTP quali AMAT, Applied Materials, TEL e simili.

Prezzo on Radiant Infrared Heating

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