なぜゴールドがIRシステムにとって重要なのか
もしシリコンウェーハを加熱する際に電力を無駄にしているのであれば、それは設計上の問題です。ほとんどの一般的な反射材はエネルギーをあちこちに散乱させてしまいます。しかし私たちは異なる方法を採用しています。オゾンを含まないIRランプにゴールドコーティングされた反射材を使用することで、エネルギーがウェーハに正確に当たり、機械の内部が過度に加熱されるのを防ぎます。
ゴールドの利点
実は、ゴールドは長波長や中波長の赤外線をより効果的に反射するのです。安価なためアルミニウムがよく使われますが、高密度処理には十分な精度がありません。私たちのゴールドコーティングにより、吸収損失が減少し、より多くの光子が目的の場所に届きます。その結果、ウェーハ全体に均一な熱分布が得られ、奇妙な低温部分が生じることもありません。
オゾンの排除
また、オゾンを生成する波長を除去するために、放射スペクトルをフィルタリングします。これにより、クリーンルーム内の環境が大幅に改善されます。さらに、ウェーハ上の敏感な有機層が破壊されるのも防げます。高い出力でも、空気中に有害な物質が発生する心配はありません。
難しい点：統合
ただし、注意すべき点もあります。正確な位置合わせが必要です。ゴールドコーティングによってビームが非常に集中するため、数ミリメートルのずれでも基板に熱点ができてしまいます。そうならないように、取り付けブラケットをしっかり固定し、動きの余地をなくす必要があります。また、熱についても注意が必要です。このような高反射率のシステムでは、多くの熱エネルギーがハウジングの内部に集中します。処理速度を上げるために出力を上げる場合、冷却ファンや液体循環装置が十分に強力でなければなりません。周囲の温度が制御不能になると、フィラメントが早く劣化してしまいます。
私たちは、停止時間が許されないような環境向けにこれらの装置を製造しています。適切な電圧調整器を使用してフィラメントの過負荷を防げば、ゴールドコーティングされた反射材は何千回もの使用に耐えられます。