http://radiant-ir-heater.com/ja/tags/%E3%82%A2%E3%83%83%E3%83%97%E3%82%B0%E3%83%AC%E3%83%BC%E3%83%89/ Recent content in アップグレード on Radiant Infrared Heating Hugo ja Tue, 28 Jul 2026 02:51:59 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-safety-design-for-high-load-fab-ir-lamps/ Tue, 28 Jul 2026 02:51:59 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-safety-design-for-high-load-fab-ir-lamps/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="クリーンルーム設備のアップグレードが工場で行われている"></p> <h1 id="ナイトメアを止めるirランプの故障から製造ラインを守る方法">ナイトメアを止める：IRランプの故障から製造ラインを守る方法</h1> <p>正直言って、半導体製造工場でIRランプが破損すると、それは大惨事です。単にヒーター部品が壊れるだけではありません。<a href="https://o-yate.net">石英</a>の破片や化学物質がウエハーに降りかかってしまうのです。高負荷の生産を行っていると、熱応力や電気的なスパイクによって、このような故障が起こり得ます。だからこそ、私たちは最悪の状況にも対応できるようにランプを設計しています。</p> <p><strong>破片を内部に閉じ込める</strong><br> まず、ケースとして高純度の合成石英を使用します。これは、通常のガラスよりも急激な加熱や冷却に耐えられます。しかし、それだけではありません。さらに、割れにくいコーティングや保護フィルムを追加します。これはまるで保険のようなものです。フィラメントが壊れて管が割れても、そのコーティングが破片をくっつけておきます。そうすれば、破片がウエハー室に入り込んで作業を台無しにすることがありません。</p>