http://radiant-ir-heater.com/ja/tags/%E3%82%A2%E3%83%AB%E3%83%9F%E3%83%8B%E3%82%A6%E3%83%A0/ Recent content in アルミニウム on Radiant Infrared Heating Hugo ja Sun, 28 Jun 2026 01:46:52 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/aluminum-reflector-for-ir-lamp/ Sun, 28 Jun 2026 01:46:52 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/aluminum-reflector-for-ir-lamp/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="IRランプ用アルミニウム反射板"></p> <p>リソグラフィー工程においては、ご存知の通り、フォトレジストを加熱する際にウエハがわずか0.5度だけでもずれてしまうと、安定していた工程が問題を引き起こす原因となります。そのため、ソフトベイクやハードベイクの条件を厳格に管理するのです。なぜなら、温度の均一性こそが線幅の精度を決定するからです。そして、この制御はIRランプシステムから始まります。</p>