http://radiant-ir-heater.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%BC%E3%83%8F%E3%83%BC/ Recent content in ウェーハー on Radiant Infrared Heating Hugo ja Sun, 31 May 2026 02:41:23 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ Sun, 31 May 2026 02:41:23 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ウェーハ用中波赤外線ヒーター"></p> <p>フロアではラインが稼働音を立てている。リソグラフィセルはウェハーをソフトベークとハードベークに循環させ、温度の設定値は固定されている。ウェハー全体で数度の温度変動、端部付近の冷却スポット、または負荷時にトリップするヒーターは、静かに歩留まりを低下させる。廃棄されるウェハーのコストだけでなく、設備稼働率の低下、緊急メンテナンス時間帯の発生、そして設計規則から外れたレジストのプロファイルの変動という形でも損失が生じている。</p>