http://radiant-ir-heater.com/ja/tags/%E3%82%AF%E3%83%AA%E3%83%BC%E3%83%B3/ Recent content in クリーン on Radiant Infrared Heating Hugo ja Sat, 25 Jul 2026 02:46:45 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-safety-design-for-high-load-clean-room-infrared-heaters/ Sat, 25 Jul 2026 02:46:45 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-safety-design-for-high-load-clean-room-infrared-heaters/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="クリーンルーム用オーブン 赤外線ヒーター"></p> <h1 id="破片の発生を防ぐ赤外線ヒーターが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法">破片の発生を防ぐ：赤外線ヒーターが<a href="https://o-yate.net">故障</a>したときにウェーハを清潔に保つ方法</h1> <p>正直に言えば、ウェーハの加工において、1つのヒーターが故障するだけで、その日の作業は台無しになってしまいます。また、製造されるシリコンの全ロットも台無しになります。<br> 高負荷での生産を行う際、実質的には赤外線ヒーターに過度な負担がかかります。石英管が破損すると、それは静かな故障ではありません。ガラスの破片や微粒子がクリーンルーム中に飛び散り、大規模な清掃作業が必要になり、多額の費用がかかってしまいます。</p>