http://radiant-ir-heater.com/ja/tags/%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%82%BF%E3%83%BC/ Recent content in コーター on Radiant Infrared Heating Hugo ja Sat, 20 Jun 2026 02:23:20 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/coater-developer-infrared-heater/ Sat, 20 Jun 2026 02:23:20 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/coater-developer-infrared-heater/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="コーター・デベロッパー用赤外線ヒーター"></p> <p>リソグラフィー工程において、ソフトベイクやハードベイク時に0.5℃のずれが生じるというのは、「わずかな<a href="https://henruite.com">偏差</a>」とは言えません。これは歩留まりの低下を意味し、CDの均一性のグラフやスクラップの量からも明らかです。コーティング装置や<a href="https://goldisgood.com">現像装置</a>に搭載されている赤外線ヒーターは、光学系やフォトレジストの特性に合わせて、熱的安定性を維持する必要があります。</p> <p>私たちは、ウェーハレベルでの制御を可能にするヒーターを開発しました。NIRエミッタアレイによってエネルギーが<a href="https://o-yate.com">直接</a>ウェーハに投入されるため、チャンバーの熱バランスを崩すことなく、迅速な加熱が可能になります。全体として、ウェーハ表面の均一性は±0.1℃以内に保たれており、端の部分でも中央部と同じ条件で加熱されます。</p> http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/spin-coater-bake-lamp/ Sun, 07 Jun 2026 01:32:57 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="スピンコーター ベークランプ"></p> <h1 id="リソグラフィーの現場における焼成">リソグラフィーの現場における焼成</h1> <p>焼成は一時停止ではなく、明確な境界線です。ソフトベイクはフォトレジスト溶剤を蒸発させ、ハードベイクはエッチング前にマスク画像を固定します。ランプがドリフトし始めると、すぐに問題が発生します：非均一なクリティカル寸法、エッジビード、<a href="https://o-yate.com">開発後</a>のスカムが発生します。これが、スピンコーターベイクランプが存在する理由です。熱的な推測を排除するために設計されています。</p>