http://radiant-ir-heater.com/ja/tags/%E3%82%B9%E3%83%94%E3%83%B3/ Recent content in スピン on Radiant Infrared Heating Hugo ja Sun, 07 Jun 2026 01:32:57 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/spin-coater-bake-lamp/ Sun, 07 Jun 2026 01:32:57 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="スピンコーター ベークランプ"></p> <h1 id="リソグラフィーの現場における焼成">リソグラフィーの現場における焼成</h1> <p>焼成は一時停止ではなく、明確な境界線です。ソフトベイクはフォトレジスト溶剤を蒸発させ、ハードベイクはエッチング前にマスク画像を固定します。ランプがドリフトし始めると、すぐに問題が発生します：非均一なクリティカル寸法、エッジビード、<a href="https://o-yate.com">開発後</a>のスカムが発生します。これが、スピンコーターベイクランプが存在する理由です。熱的な推測を排除するために設計されています。</p>