http://radiant-ir-heater.com/ja/tags/%E3%83%9E%E3%82%A4%E3%82%AF%E3%83%AD/ Recent content in マイクロ on Radiant Infrared Heating Hugo ja Sat, 27 Jun 2026 01:43:48 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/micro-led-wafer-drying-heater/ Sat, 27 Jun 2026 01:43:48 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/micro-led-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="マイクロLEDウェーハ乾燥ヒーター"></p> <p><a href="https://henruite.com">Micro</a> LEDウェーハが最終的な洗浄を終えて、乾燥を待っている<a href="https://o-yate.com">様子</a>を見てみましょう。この工程では、状況がどれだけ急速に悪化するかわかりません。もしヒーターの温度が数十分の1度でもずれてしまうと、ウェーハの端に水分が残ったままになったり、フォトレジストのパターンが崩れたりしてしまいます。その結果、リソグラフィーを始める前から品質が低下してしまいます。私たちは、このような不確実性を排除するために、Micro LEDウェーハ用の乾燥ヒーターを開発しました。</p> <p><strong>内部で重要なのは何か</strong> この装置は、石英窓の後ろに短波長の赤外線素子を備えているため、迅速かつ効率的に加熱・冷却が行えます。ウェーハ全体の温度の均一性は±0.1℃以内に保たれます。これにより、ウェーハの端に残った水分がきちんと除去され、繰り返し処理を行ってもフォトレジストのパターンが安定します。</p>