http://radiant-ir-heater.com/ja/tags/%E3%83%AC%E3%83%BC%E3%82%B6%E3%83%BC/ Recent content in レーザー on Radiant Infrared Heating Hugo ja Mon, 29 Jun 2026 03:07:00 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/semiconductor-laser-diode-heater/ Mon, 29 Jun 2026 03:07:00 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/semiconductor-laser-diode-heater/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="半導体レーザーダイオードヒーター"></p> <p>ファブ内では、フォトレジストの焼成温度が0.2℃だけ変動しても、グラフ上には何の変化も現れないまま、CDの均一性や<a href="https://henruite.com">歩留</a>まりが<a href="https://goldisgood.com">悪化</a>してしまいます。そうした問題を未然に防ぐために、私たちは半導体レーザーダイオードヒーターを開発しました。この業界においては、熱制御は単なる補助手段ではなく、プロセスそのものなのです。</p> <h3 id="赤外線による高精度制御サブミリメートル単位の均一性と再現性">赤外線による高精度制御：サブミリメートル単位の均一性と再現性</h3> <p>近赤外線を利用し、熱容量が小さいウェーハを加熱することで、熱分布をサブミリメートル単位で維持し、端から中心までの温度差を最小限に抑えます。活性領域全体で±0.1℃以内の均一性が得られ、さらに、シフトごとやロットごとにも再現性が保たれます。</p>