http://radiant-ir-heater.com/ja/tags/%E5%8A%B9%E6%9E%9C%E7%9A%84/ Recent content in 効果的 on Radiant Infrared Heating Hugo ja Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/effective-photoresist-bake-with-ir/ Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/effective-photoresist-bake-with-ir/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="IRを用いた効果的なフォトレジストのベイク処理"></p> <p>リソグラフィー工程においては、ベイク温度が0.5℃だけ変動しても、そのロット全体が廃棄処分となってしまいます。ソフトベイクとは、溶剤をきれいに除去するための処理であり、ハードベイクとは、プロファイルを固定するための処理です。熱的な均一性が失われると、CDの精度が悪くなり、粒子の数も増えてしまいます。</p>