反射板 on Radiant Infrared Heating

ゴールド反射板付き赤外線ランプ

Wed, 15 Jul 2026 10:42:40 +0800

なぜ、金反射材を備えた赤外線ランプが半導体の乾燥に最適なのか
半導体業界では、「グリーン」で鉛フリーの基準が求められています。それは素晴らしいことですが、従来の方法、つまり大容量の対流オーブンを使う方法は、単なる無駄遣いに過ぎません。巨大な箱の中の空気を温めるために莫大なエネルギーを費やしているだけです。

私たちは異なる方法を採用しています。金反射材を持つ短波長赤外線ランプを使用するのです。部屋全体を温める代わりに、熱を直接基板に当てます。中間媒体がないため、エネルギーの無駄もありません。必要な場所に迅速かつ直接的に熱が届きます。

ウェハ硬化ランプ用反射板

Sat, 11 Jul 2026 05:18:03 +0800

なぜウェーハを硬化させるためのランプに対して、そんなに厳しい電気的試験を行うのか？
ウェーハ硬化用ランプは、ハードウェアにとって非常に過酷な環境です。極端な高温や高電圧がかかります。この業界では、「小さな」ミスというものは許されません。わずかな絶縁不良があれば、コントローラーが壊れたり、一括でシリコンウェーハ全体がダメになってしまいます。

IRランプ用アルミニウム反射板

Sun, 28 Jun 2026 01:46:52 +0800

リソグラフィー工程においては、ご存知の通り、フォトレジストを加熱する際にウエハがわずか0.5度だけでもずれてしまうと、安定していた工程が問題を引き起こす原因となります。そのため、ソフトベイクやハードベイクの条件を厳格に管理するのです。なぜなら、温度の均一性こそが線幅の精度を決定するからです。そして、この制御はIRランプシステムから始まります。