ウェーハ加熱時の安全距離

熱の無駄遣いを止めよう：なぜ金製の反射器が重要なのか ウェーハを加熱する際、重要なのは単に出力を上げることだけではありません。重要なのは、エネルギーが空気を温めるだけでなく、実際にシリコンに届くようにすることです。 一般的な石英ランプは、熱をあらゆる方向に放出してしまいます。そこで役立つのが金メッ...