http://radiant-ir-heater.com/ja/tags/%E5%AF%BE/ Recent content in 対 on Radiant Infrared Heating Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 01:17:17 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ Wed, 24 Jun 2026 01:17:17 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ウェーハ乾燥における赤外線と対流の比較"></p> <p>ファブ内では、熱に関する誤差は、交渉の対象となる「許容範囲」ではありません。フォトレジストのソフトベイク中に0.5℃の温度変動があるだけで、重要な寸法が狂ってしまいます。また、洗浄後に残ったわずかな水分も、次のリソグラフィ工程で問題を引き起こす可能性があります。対流オーブンは、キャリア上で感じられるほどの熱の不均一性やバッチ間の温度差を解消するのに役立ちます。赤外線も有効な手段ですが、それは半導体製造の観点から設計されている場合に限ります。</p>