http://radiant-ir-heater.com/ja/tags/%E6%B8%85%E6%8E%83/ Recent content in 清掃 on Radiant Infrared Heating Hugo ja Tue, 23 Jun 2026 13:22:11 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/post-cleaning-wafer-infrared-heater/ Tue, 23 Jun 2026 13:22:11 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/post-cleaning-wafer-infrared-heater/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="洗浄後ウェーハ用赤外線ヒーター"></p> <p>製造現場では、洗浄後に残るわずかな水分や酸化膜の再形成により、気づく前にフォトレジストの接着力が低下してしまいます。わずかな温度変動や局所的な高温部分があるだけで、ソフトベイク処理の条件が崩れてしまいます。その結果、エッチング後にウェーハの強度が低下したり、リソグラフィ工程で特徴的な形状が乱れたりします。私たちは、このような不確実性を排除するために、洗浄後のウェーハ用の赤外線ヒーターを開発しました。</p>