http://radiant-ir-heater.com/ja/tags/%E7%84%BC%E3%81%8F/ Recent content in 焼く on Radiant Infrared Heating Hugo ja Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/effective-photoresist-bake-with-ir/ Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/effective-photoresist-bake-with-ir/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="IRを用いた効果的なフォトレジストのベイク処理"></p> <p>リソグラフィー工程においては、ベイク温度が0.5℃だけ変動しても、そのロット全体が廃棄処分となってしまいます。ソフトベイクとは、溶剤をきれいに除去するための処理であり、ハードベイクとは、プロファイルを固定するための処理です。熱的な均一性が失われると、CDの精度が悪くなり、粒子の数も増えてしまいます。</p> http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/spin-coater-bake-lamp/ Sun, 07 Jun 2026 01:32:57 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="スピンコーター ベークランプ"></p> <h1 id="リソグラフィーの現場における焼成">リソグラフィーの現場における焼成</h1> <p>焼成は一時停止ではなく、明確な境界線です。ソフトベイクはフォトレジスト溶剤を蒸発させ、ハードベイクはエッチング前にマスク画像を固定します。ランプがドリフトし始めると、すぐに問題が発生します：非均一なクリティカル寸法、エッジビード、<a href="https://o-yate.com">開発後</a>のスカムが発生します。これが、スピンコーターベイクランプが存在する理由です。熱的な推測を排除するために設計されています。</p>