http://radiant-ir-heater.com/ja/tags/%E7%9F%AD%E3%81%84/ Recent content in 短い on Radiant Infrared Heating Hugo ja Mon, 01 Jun 2026 00:02:56 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/short-wave-infrared-lamp-semiconductor/ Mon, 01 Jun 2026 00:02:56 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/short-wave-infrared-lamp-semiconductor/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="短波赤外線ランプ半導体"></p> <p>リソグラフィフロアでは、時間は決して味方ではない。ソフトベークがわずか2℃でもずれると、溶剤の蒸発が乱れ、フォトレジストの流動性が変わり、クリティカルディメンション（CD）制御が規格外になる。ハードベークの不安定さはスカミングや接着不良を引き起こし、廃棄ウェハ1枚ごとに時間、薬品、クリーンルームのキャパシティが損なわれる。熱制御は「あると便利」なものではなく、工程の境界条件である。</p>