http://radiant-ir-heater.com/ja/tags/%E9%96%8B%E7%99%BA%E8%80%85/ Recent content in 開発者 on Radiant Infrared Heating Hugo ja Sat, 20 Jun 2026 02:23:20 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/coater-developer-infrared-heater/ Sat, 20 Jun 2026 02:23:20 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ja/posts/coater-developer-infrared-heater/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="コーター・デベロッパー用赤外線ヒーター"></p> <p>リソグラフィー工程において、ソフトベイクやハードベイク時に0.5℃のずれが生じるというのは、「わずかな<a href="https://henruite.com">偏差</a>」とは言えません。これは歩留まりの低下を意味し、CDの均一性のグラフやスクラップの量からも明らかです。コーティング装置や<a href="https://goldisgood.com">現像装置</a>に搭載されている赤外線ヒーターは、光学系やフォトレジストの特性に合わせて、熱的安定性を維持する必要があります。</p> <p>私たちは、ウェーハレベルでの制御を可能にするヒーターを開発しました。NIRエミッタアレイによってエネルギーが<a href="https://o-yate.com">直接</a>ウェーハに投入されるため、チャンバーの熱バランスを崩すことなく、迅速な加熱が可能になります。全体として、ウェーハ表面の均一性は±0.1℃以内に保たれており、端の部分でも中央部と同じ条件で加熱されます。</p>