http://radiant-ir-heater.com/ko/tags/%EA%B7%9C%EC%A0%9C-%EA%B8%B0%EA%B4%80/ Recent content in 규제 기관 on Radiant Infrared Heating Hugo ko Fri, 03 Jul 2026 03:36:38 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ko/posts/scr-power-regulator-for-lamp/ Fri, 03 Jul 2026 03:36:38 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ko/posts/scr-power-regulator-for-lamp/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="램프용 SCR 전력 조절기"></p> <p>생산 현장에서는 포토레지스트를 건조할 때 발생하는 열 변동이 단순한 학문적 문제가 아니라, 생산 효율을 저하시키는 심각한 문제입니다. 0.5°C만의 온도 변동으로도 치명적인 오차가 생길 수 있으며, 목표 온도를 유지하기 위해 램프가 계속해서 조절을 반복하면서 시간이 낭비됩니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 램프 시스템용 SCR 전력 조절기를 개발했습니다.</p> http://radiant-ir-heater.com/ko/posts/voltage-regulator-for-fab-ir/ Tue, 09 Jun 2026 01:15:55 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ko/posts/voltage-regulator-for-fab-ir/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="파브 IR용 전압 조절기"></p> <h1 id="fab-공정-현장에서-포토레지스트-베이크는-선택이-아닌-필수-공정이다-웨이퍼-전체에서-05c의-온도-변화는-노광-후-선폭-변화로-나타나며-이는-직관적으로-수율-저하로-이어진다-우리는-fab-ir용-전압-조절기를-설계하여-열-프로파일이-안정적이고-재현-가능하며-제어-가능한-상태를-유지하도록-했다">Fab 공정 현장에서 포토레지스트 베이크는 선택이 아닌 필수 공정이다. 웨이퍼 전체에서 0.5°C의 온도 변화는 노광 후 선폭 변화로 나타나며, 이는 직관적으로 수율 저하로 이어진다. 우리는 fab IR용 전압 조절기를 설계하여 열 프로파일이 안정적이고 재현 가능하며 제어 가능한 상태를 유지하도록 했다.</h1> <p><strong>기술적으로 중요한 점</strong><br> IR은 빠르게 가열되지만, 열장이 균일할 때만 효용이 있다. 당사의 조절기는 IR 방출기 버스의 전압을 엄격히 제어하여 선 저하(line sag)나 부하 스위칭이 발생해도 출력이 안정적이다. 열 영역 전반에 걸쳐 서브 밀리미터 수준의 균일도와 웨이퍼 평면상 ±0.1°C의 설정점 안정성을 확보한다. 이는 단순 슬로건이 아니라 측정 가능한 열 구배 감소를 의미한다. 이 장치는 Class 1–100 클린룸 호환성이 있으며, 입자 수를 최소화하기 위해 소재와 패키징이 신중히 선택되었다. 입자 발생 제로가 목표이며, 공정 내 모니터링을 통해 이를 추적한다.</p>