http://radiant-ir-heater.com/ko/tags/%EC%A4%91%EA%B0%84/ Recent content in 중간 on Radiant Infrared Heating Hugo ko Sun, 31 May 2026 02:41:23 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ko/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ Sun, 31 May 2026 02:41:23 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ko/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="웨이퍼용 중파 적외선 히터"></p> <p>현장에서 라인이 작동 중이다. 리소그래피 셀은 웨이퍼를 소프트 베이크와 하드 베이크 과정을 순환시키며, 온도 설정값은 고정되어 있다. 웨이퍼 전반에 걸쳐 몇 도의 편차, 가장자리 근처의 냉점, 또는 부하 상태에서 히터가 트립하는 상황은 조용히 수율을 저하시킬 수 있다. 단순히 폐기된 웨이퍼 비용만 발생하는 것이 아니다. 용량 손실, 긴급 유지보수 시간, 그리고 설계 규칙에서 벗어난 포토레지스트 프로파일의 변화로 인해 비용이 발생한다.<br> 이 지점에서 중파 적외선 히터가 역할을 한다. 반도체 장비가 요구하는 반복 가능하고 균일한 열 에너지를 제공하며, 선폭 오차, 부착 불량, 용매 잔류와 같은 변동성을 발생시키지 않는다.</p>