http://radiant-ir-heater.com/ko/tags/%EC%BD%94%ED%84%B0/ Recent content in 코터 on Radiant Infrared Heating Hugo ko Sun, 07 Jun 2026 01:32:57 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ko/posts/spin-coater-bake-lamp/ Sun, 07 Jun 2026 01:32:57 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ko/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="스핀 코터 베이크 램프"></p> <p>리소그래피 작업장에서 베이크는 일시 정지가 아니라 경계선이다. 소프트 베이크는 포토레지스트 내의 용제를 증발시킨다. 하드 베이크는 식각 전에 마스크 이미지를 고정한다. 램프가 불안정해지면 즉시 비용이 발생한다. 개발 후 비균일한 크리티컬 치수, 엣지 비딩, 스컴이 그 예다. 따라서 스핀 코터 베이크 램프는 열 공정을 예측 가능한 상태로 유지하기 위해 존재한다.</p>