http://radiant-ir-heater.com/ko/tags/%EC%BD%94%ED%8C%85%EA%B8%B0/ Recent content in 코팅기 on Radiant Infrared Heating Hugo ko Sat, 20 Jun 2026 02:23:20 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ko/posts/coater-developer-infrared-heater/ Sat, 20 Jun 2026 02:23:20 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ko/posts/coater-developer-infrared-heater/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="코팅기 개발용 적외선 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 0.5°C의 온도 변동도 결코 ‘작은 편차’가 아닙니다. 이는 생산성 저하로 이어지며, CD 균일성 그래프나 스크랩 트레이를 통해 명확하게 확인할 수 있습니다. 코팅기/개발기의 적외선 히터는 광학 장치와 포토레지스트의 열적 안정성과 완벽하게 동기화되어야 합니다.</p>