http://radiant-ir-heater.com/ko/tags/%ED%9A%A8%EA%B3%BC%EC%A0%81%EC%9D%B8/ Recent content in 효과적인 on Radiant Infrared Heating Hugo ko Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ko/posts/effective-photoresist-bake-with-ir/ Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800 http://radiant-ir-heater.com/ko/posts/effective-photoresist-bake-with-ir/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="IR을 활용한 효과적인 포토레지스트 건조"></p> <p>리소그래피 공정에서는, 베이킹 온도가 0.5°C만 변동해도 전체 생산량이 폐기되는 경우가 있습니다. 소프트 베이킹은 용매를 깨끗하게 제거하는 과정이며, 하드 베이킹은 프로파일을 고정시키는 과정입니다. 열 분포에 문제가 생기면 CD 제어가 제대로 이루어지지 않고, 입자 수도 증가합니다.</p>