실제로 열이 필요한 곳에 더 많은 열을 공급하기 위해: 금으로 코팅된 IR 방출체 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 모든 에너지가 중요합니다. 일반적인 IR 방출체의 문제점은 열이 밖으로 새어나간다는 것입니다. 그로 인해 에너지가 낭비되고, 기계도 불필요하게 과열됩니다....

공기를 가열하는 것을 그만두세요: 웨이퍼를 더 효율적으로 처리하는 방법 이제 오래된 저항식 오븐에 대해 이야기해보겠습니다. 물론 이 오븐들도 작동은 하지만, 사실상 거대한 히터에 불과합니다. 웨이퍼를 적정 온도로 만들기 위해 전체 챔버와 그 안의 공기를 가열하는 데...

리소그래피 공정에서는 알다시피, 포토레지스트를 가열할 때 웨이퍼가 반도 정도만 이동해도 안정적인 공정이 문제가 될 수 있습니다. 그래서 부드러운 가열과 강력한 가열 조건을 엄격하게 관리하는 것입니다. 온도의 균일성이 바로 선의 두께를 결정하기 때문입니다. 그리고 이러...

리소그래피 공정에서는, 베이킹 온도가 0.5°C만 변동해도 전체 생산량이 폐기되는 경우가 있습니다. 소프트 베이킹은 용매를 깨끗하게 제거하는 과정이며, 하드 베이킹은 프로파일을 고정시키는 과정입니다. 열 분포에 문제가 생기면 CD 제어가 제대로 이루어지지 않고, 입자...