Mengeringkan Wafer MEMS Tanpa Masalah
Ketika membuat sensor MEMS, perkara terakhir yang diinginkan ialah adanya titisan kelembapan atau kotoran yang boleh merosakkan hasil kerja anda. Namun, cabarannya ialah bagaimana untuk mengeringkan wafer tersebut tanpa merosakkan bahan tersebut atau membiarkan bahan cemar masuk ke dalamnya.
Itulah sebabnya kita menggunakan pemanas inframerah gelombang pendek. Daripada memanaskan seluruh bilik – yang merupakan pembaziran masa dan tenaga – pemanas inframerah menghantar tenaga secara langsung ke permukaan wafer. Cara ini lebih efisien.
Mengapa ia berkesan
Bayangkan oven konvensional biasa. Ia membuang separuh tenaganya untuk memanaskan udara sahaja. Ini sangat tidak efisien. Pemanas inframerah pula berbeza. Ia menghantar foton yang menyebabkan molekul air bergetar, lalu proses penguapan berlaku dengan cepat.
Oleh kerana haba disalurkan dengan tepat, peralatan yang digunakan tidak perlulah besar. Selain itu, dengan peningkatan penggunaan teknologi yang menjimatkan tenaga, penggunaan pemanas inframerah adalah pilihan yang bijak. Anda tidak memerlukan katalis kimia atau sistem pengudaraan yang besar yang sering menyebabkan zarah-zarah cemar masuk ke dalam wafer.
Keseimbangan suhu
Bukan sekadar meningkatkan suhu sahaja yang penting. Kita perlu berhati-hati dengan kadar perubahan suhu. Lampu berintensiti tinggi memang bagus untuk mempercepatkan proses pengeringan, tetapi ada risiko jika penempatan lampu tidak betul atau kawalan kuasa tidak tepat. Ini boleh menyebabkan “titik panas” pada wafer. Pada wafer berukuran 300mm, ini boleh merosakkan struktur MEMS yang halus tersebut.
Untuk mengelakkan ini, kita menggunakan pengawal PID yang tepat untuk mengawal suhu. Kita juga menggunakan vakum atau gas inert untuk melindungi wafer daripada oksidasi. Semuanya bergantung pada kawalan yang tepat.
Menyesuaikan sistem dengan keperluan anda
Kami membina sistem ini agar mudah digunakan sebagai pengganti oven haba lama yang digunakan sebelum ini. Kami menggunakan kapsul kuarsa untuk mencegah ion logam daripada merebak ke atas wafer. Sistem ini juga boleh dihidupkan dan dimatikan dalam masa milisaat, jadi anda tidak perlu risau tentang wafer mencapai suhu yang berlebihan dan merosakkan produk tersebut.
Dan apabila lampu rosak? Anda tidak perlu merobohkan keseluruhan sistem pengeringan. Cukup ganti modul tersebut dan sambung semula kerja anda.