Effectieve droogtijd van fotorezyst met IR
Op de lithografieafdeling is een temperatuurschommeling van 0,5°C tijdens het bakproces al voldoende om een hele lading producten onbruikbaar te...
Spincoater baklamp
Op de lithografievloer is de bake geen pauze—het is de scheidslijn. Soft bake verwijdert het photoresistoplosmiddel. Hard bake fixeert het...