Wereldwijde handel in halfgeleiderapparatuur

Mon, 22 Jun 2026 19:25:26 +0800

Op de productielijn is temperatuur geen instelling die je kunt aanpassen – het is een specificatie die moet worden nageleefd. Een verschil van 0,5°C kan al leiden tot een verandering in de dikte van de lijnen op het siliciumchip. Een deeltje dat afkomstig is van een verwarmingselement kan zelfs schade toebrengen aan het chip. In apparatuur voor halfgeleiderproductie bepaalt het thermische systeem stilletjes de productiekwaliteit, de beschikbaarheid van de apparatuur en de kosten per chip.

We ontwerpen thermische systemen rondom de vereisten van het productieproces, en niet rondom het apparaat zelf. Het doel is een uniformiteit van ±0,1°C op het niveau van de chip. Dit wordt bereikt met behulp van NIR-verwarming, kwartsramen en een gesloten thermometrisch systeem dat de temperatuur op het oppervlak controleert – niet ergens anders in het materiaal.

Handel on Radiant Infrared Heating

Wereldwijde handel in halfgeleiderapparatuur