Como secar as bolachas MEMS sem problemas
Quando se fabricam sensores MEMS, a última coisa que se quer é que uma gota de umidade ou manchas de solvente estraguem todo o processo. Mas aqui está o desafio: é preciso secar essas bolachas completamente, sem causar danos ao material ou permitir que contaminantes entrem nelas.
É por isso que usamos aquecedores a infravermelho de onda curta. Em vez de tentar aquecer todo o ambiente – o que é uma perda de tempo e energia – o infravermelho envia energia diretamente para a superfície da bolacha. É eficiente e preciso.
Por que funciona?
Pense em um forno convencional: ele gasta metade de sua energia apenas para aquecer o ar. É ineficiente. Já o infravermelho funciona de maneira diferente: ele envia fótons que fazem as moléculas de água vibrarem, acelerando assim o processo de evaporação. Como o calor é direcionado com precisão, não é necessário usar equipamentos enormes. Além disso, à medida que a indústria abandona o uso de substâncias tóxicas e sistemas energivores, o infravermelho se torna a solução ideal. Não são necessários catalisadores químicos ou sistemas complexos de ventilação, que sempre permitem que partículas indesejadas entrem no sistema.
** equilíbrio necessário**
Não basta simplesmente aumentar a temperatura. É preciso ter cuidado com as mudanças de temperatura. Lâmpadas de alta intensidade são ótimas para acelerar o processo, mas há um problema: se a posição da lâmpada não for correta ou se o controle de potência não for preciso, podem surgir “pontos quentes”. Em uma bolacha de 300 mm, isso pode causar deformações nas estruturas delicadas dos MEMS.
Para evitar isso, combinamos os aquecedores com controladores PID precisos. Também utilizamos vácuo ou gases inertes para evitar que a bolacha oxide. Tudo depende do controle preciso.
Adaptando o sistema às suas necessidades
Criamos esses sistemas para que possam substituir facilmente os antigos fornos térmicos. Usamos invólucros de quartzo para impedir que íons metálicos cheguem às bolachas. A instalação elétrica também é simples. O sistema pode ser ligado e desligado em milissegundos, o que significa que não é preciso se preocupar com a bolacha atingir temperatura excessiva e estragar todo o lote.
E quando uma lâmpada falha? Não é preciso desmontar todo o sistema de secagem. Basta substituir a lâmpada e continuar trabalhando.