Прекратите тратить энергию впустую в системах сушки на производстве полупроводников.
Честно говоря, разбазаривание энергии на таких предприятиях — это просто пустая трата денег. Это сильно влияет на операционные расходы.
Проблема в том, что большинство стандартных отражателей работают крайне неэффективно. Они рассеивают инфракрасную энергию во все стороны, из-за чего значительная часть электроэнергии так и не попадает на саму пластину.
Мы решили эту проблему, используя отражатели, покрытые золотом высокой чистоты. Таким образом мы можем сосредоточить энергию в одной точке.
Почему именно золото?
Большинство людей используют алюминий, но он поглощает слишком много энергии, а оставшуюся часть отражает в случайных направлениях. Золото же обладает высокой эффективностью при отражении ближнего инфракрасного света.
Вместо того чтобы стены камеры поглощали тепло, излучение направляется прямо вперед. Это позволяет сосредоточить тепло именно на пластине. Таким образом, вы получаете больший эффект от каждого ватта энергии.
Как правильно распределять тепло
Когда тепло сосредоточено в одной точке, можно быстрее достичь нужной температуры сушки. Но нельзя просто увеличивать мощность. Если тепло распределяется неравномерно по всей поверхности пластины, возникают «горячие точки». А это приводит к деформации кремния. Мы тратим много времени на то, чтобы обеспечить равномерное распределение энергии, чтобы достичь нужной скорости без рисков.
Недостатки и способы их преодоления
Золотые покрытия довольно дороги. Они не выдерживают воздействия коррозионных химикатов или агрессивных средств для очистки. Если в вашем производственном помещении много химических паров, потребуется защитный кварцевый слой. Это своего рода «плащ» для отражателей. Без него загрязнения будут накапливаться на золоте, что снизит его отражательные свойства. В таком случае придется увеличивать мощность, чтобы вернуться к начальному уровню.
Как использовать это в практике
Замена отражателей на золотые — это простой способ снизить общее потребление энергии, не теряя при этом эффективности сушки. Кроме того, это снижает нагрузку на системы охлаждения на производстве.
Если вы не уверены в ситуации, стоит провести аудит ламповых установок. Возможно, вы обнаружите, что текущие отражатели просто поглощают энергию, которая должна быть использована для сушки пластин.