Лампа для сушки спин коатера

Sun, 07 Jun 2026 01:32:57 +0800

На литографическом этаже запекание — это не пауза, а черта, которую нельзя пересекать. Мягкое запекание удаляет растворитель из фоторезиста. Жёсткое запекание фиксирует изображение маски перед травлением. Если лампа начинает отклоняться, последствия наступают быстро: неравномерная критическая размерность, кромочный валик и остатки после проявления. Поэтому в пинкостерах существует лампа для запекания – чтобы исключить тепловые догадки из процесса.

Что важно внутри

Лампу для запекания мы построили на базе коротковолнового инфракрасного излучения в кварцевой колбе, так как она быстро передаёт энергию напрямую в слой фоторезиста. Результат — термическое равномерное распределение на уровне ±0,1°C по всему диаметру покрытия пластинки и воспроизводимость от партии к партии. Время отклика у лампы менее секунды, что позволяет точно выдерживать тепловой бюджет и прогонять профиль запекания по рецепту без превышений. Лампа используется в чистых помещениях классов 1–100 и сконструирована так, чтобы не генерировать частицы — поскольку в этом производстве каждый взвешенный дефект снижает выход годного.

Покровный Материал on Radiant Infrared Heating

Лампа для сушки спин коатера