Сушка on Radiant Infrared Heating

Энергетический аудит процесса сушки в производственном здании

Mon, 27 Jul 2026 16:58:57 +0800

Прекратите тратить энергию впустую в системах сушки на производстве полупроводников.
Честно говоря, разбазаривание энергии на таких предприятиях — это просто пустая трата денег. Это сильно влияет на операционные расходы.
Проблема в том, что большинство стандартных отражателей работают крайне неэффективно. Они рассеивают инфракрасную энергию во все стороны, из-за чего значительная часть электроэнергии так и не попадает на саму пластину.
Мы решили эту проблему, используя отражатели, покрытые золотом высокой чистоты. Таким образом мы можем сосредоточить энергию в одной точке.
Почему именно золото?
Большинство людей используют алюминий, но он поглощает слишком много энергии, а оставшуюся часть отражает в случайных направлениях. Золото же обладает высокой эффективностью при отражении ближнего инфракрасного света.
Вместо того чтобы стены камеры поглощали тепло, излучение направляется прямо вперед. Это позволяет сосредоточить тепло именно на пластине. Таким образом, вы получаете больший эффект от каждого ватта энергии.
Как правильно распределять тепло
Когда тепло сосредоточено в одной точке, можно быстрее достичь нужной температуры сушки. Но нельзя просто увеличивать мощность. Если тепло распределяется неравномерно по всей поверхности пластины, возникают «горячие точки». А это приводит к деформации кремния. Мы тратим много времени на то, чтобы обеспечить равномерное распределение энергии, чтобы достичь нужной скорости без рисков.
Недостатки и способы их преодоления
Золотые покрытия довольно дороги. Они не выдерживают воздействия коррозионных химикатов или агрессивных средств для очистки. Если в вашем производственном помещении много химических паров, потребуется защитный кварцевый слой. Это своего рода «плащ» для отражателей. Без него загрязнения будут накапливаться на золоте, что снизит его отражательные свойства. В таком случае придется увеличивать мощность, чтобы вернуться к начальному уровню.
Как использовать это в практике
Замена отражателей на золотые — это простой способ снизить общее потребление энергии, не теряя при этом эффективности сушки. Кроме того, это снижает нагрузку на системы охлаждения на производстве.
Если вы не уверены в ситуации, стоит провести аудит ламповых установок. Возможно, вы обнаружите, что текущие отражатели просто поглощают энергию, которая должна быть использована для сушки пластин.

Нагреватель для сушки пластин с датчиками MEMS

Fri, 24 Jul 2026 09:26:24 +0800

Как сделать пластины MEMS сухими без лишних проблем
При производстве датчиков MEMS последнее, чего хочется, — это чтобы капля влаги или след растворителя испортили все усилия. Но здесь есть сложность: необходимо сделать пластины максимально сухими, при этом не повреждая материал и не позволяя проникнуть примесям.

Поэтому мы используем нагреватели с коротковолновым инфракрасным излучением. Вместо того чтобы нагревать всю комнату — что является тратой времени и энергии — инфракрасные лучи направляются непосредственно на поверхность пластин. Это эффективно и безопасно.

Нагреватель для сушки корпусов микро LED

Sat, 27 Jun 2026 01:43:48 +0800

Смотрите, как пластина с технологией Micro LED выходит из процедуры окончательного промывания и остается на месте в ожидании высыхания. На производственной линии всё может измениться очень быстро. Если температура нагревателя изменится даже на несколько десятых градуса, это приведет к тому, что капли жидкости останутся на краях пластины, узоры фоторезиста станут менее четкими, а качество продукции ухудшится ещё до начала процесса литографии. Мы создали специальный нагреватель для высыхания пластин с технологией Micro LED, чтобы устранить такие отклонения.

Инфракрасное излучение против конвекции для сушки пластин

Wed, 24 Jun 2026 01:17:17 +0800

На производственной линии термические ошибки не являются чем-то, с чем можно договориться. Даже небольшое отклонение в 0,5°C во время процедуры размягчения фотополимера может привести к искажению критических размеров деталей. Небольшое количество остаточной влаги после очистки также может стать причиной проблем на следующем этапе литографии. Конвекционные печи помогают бороться с термическими колебаниями и неравномерностью температуры внутри печи. Инфракрасное излучение может быть эффективным средством, но только при условии использования технологий, разработанных с учетом особенностей полупроводников.