การอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ให้มีประสิทธิภาพ โดยใช้คลื่นอินฟราเรด

Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800

ในกระบวนการลิโธกราฟี แม้ว่าอุณหภูมิในขั้นตอนการอบจะเปลี่ยนแปลงเพียง 0.5°C เท่านั้น ก็อาจทำให้ชิ้นงานทั้งหมดเสียหายได้ การอบแบบอ่อนคือการขจัดตัวทำละลายออกอย่างสมบูรณ์ ส่วนการอบแบบแข็งคือการทำให้โครงสร้างของวัสดุคงที่ หากอุณหภูมิไม่สม่ำเสมอ ก็จะส่งผลให้การควบคุมความหนาของชั้นสารเคมีที่ใช้ในการพิมพ์ไม่มีประสิทธิภาพ และจำนวนอนุภาคที่เกิดขึ้นก็จะเพิ่มขึ้น

สิ่งที่เราสร้างขึ้น และเหตุใดมันจึงมีความสำคัญ
เราใช้เครื่องอบที่มีหัวฉายแสงในย่านคลื่นสั้น พร้อมระบบควบคุมอุณหภูมิที่มีความแม่นยำสูง ทำให้อุณหภูมิบนแผ่นวัสดุมีความสม่ำเสมอในระดับ ±0.1°C และมีความเสถียรของอุณหภูมิตลอดเวลา อุปกรณ์นี้สามารถใช้ได้ในห้องสะอาดทุกระดับ ตั้งแต่ระดับ 1 ถึง 100 และไม่มีการปล่อยอนุภาคออกมาในระหว่างการอบ ค่าอุณหภูมิที่ได้จากการอบจะมีความสม่ำเสมอในแต่ละชุดชิ้นงาน และสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำตามสูตรที่กำหนดไว้

เหตุใดวิธีนี้จึงได้ผลในกระบวนการผลิต
เราสามารถใช้การอบแบบอ่อนและการอบแบบแข็งบนแพลตฟอร์มเดียวกันได้ ทำให้ไม่มีความแตกต่างของอุณหภูมิระหว่างเตาอบต่างๆ ช่วยให้กระบวนการผลิตมีความแม่นยำมากขึ้น ลดของเสียลง และประหยัดพลังงาน เพราะแสงอินฟราเรดจะทำหน้าที่ในการให้ความร้อนแก่วัสดุโดยตรง ไม่ใช่แก่ห้องอบโดยรวม

ความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์
อุปกรณ์นี้มีความน่าเชื่อถือสูง เนื่องจากชิ้นส่วนต่างๆ ถูกออกแบบมาให้สามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่อง และหัวฉายแสงสามารถทำงานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของประสิทธิภาพน้อยกว่า 5% เท่านั้น ทำให้ต้องมีการซ่อมบำรุงน้อยลง และสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างสม่ำเสมอสำหรับแต่ละแผ่นวัสดุ

สิ่งที่คุณต้องเตรียมไว้
อุปกรณ์นี้สามารถติดตั้งเข้ากับระบบที่มีอยู่ได้ผ่านอินเตอร์เฟซทางกลและไฟฟ้ามาตรฐาน แต่จำเป็นต้องมีสายไฟควบคุมแรงดัน 24V และระบบระบายความร้อนที่มีคุณภาพดี เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ ควรมีการทดสอบเบื้องต้นเพื่อวัดความแตกต่างของอุณหภูมิระหว่างเตาอบกับแผ่นวัสดุ หลังจากนั้น ประสิทธิภาพในการอบก็จะมีความสม่ำเสมอ โดยไม่จำเป็นต้องมีการปรับแต่งอะไรมากนัก

สารต้านแสงถ่ายภาพ on Radiant Infrared Heating

การอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ให้มีประสิทธิภาพ โดยใช้คลื่นอินฟราเรด