http://radiant-ir-heater.com/th/tags/mems/ Recent content in MEMS on Radiant Infrared Heating Hugo th Fri, 24 Jul 2026 09:26:24 +0800 http://radiant-ir-heater.com/th/posts/why-infrared-curing-is-the-standard-for-lead-free-mems-wafer-drying/ Fri, 24 Jul 2026 09:26:24 +0800 http://radiant-ir-heater.com/th/posts/why-infrared-curing-is-the-standard-for-lead-free-mems-wafer-drying/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="เครื่องทำความร้อนสำหรับอบแห้งแผ่นเซ็นเซอร์ MEMS"></p> <p>วิธีทำให้แผ่นวัสดุ MEMS แห้งได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยไม่มีปัญหาใดๆ<br> เมื่อคุณกำลังผลิตเซ็นเซอร์ MEMS สิ่งสุดท้ายที่คุณไม่อยากให้เกิดขึ้นก็คือการมีน้ำหยดหรือสารละลายต่างๆ มาทำลายผลงานของคุณ แต่ปัญหาก็คือ คุณต้องทำให้แผ่นวัสดุเหล่านั้นแห้งสนิท โดยไม่ให้วัสดุเสียหายหรือมีสิ่งปนเปื้อนเข้ามาได้</p> <p>นั่นคือเหตุผลที่เราใช้เครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดความถี่สูง แทนที่จะใช้วิธีทำความร้อนให้ทั้งห้อง ซึ่งเป็นการสิ้นเปลืองเวลาและพลังงาน อินฟราเรดจะส่งพลังงานไปยังพื้นผิวของแผ่นวัสดุโดยตรง วิธีนี้มีประสิทธิภาพมากกว่า</p> <p><strong>เหตุผลที่วิธีนี้ได้ผล</strong><br> ลองนึกถึงเตาอบแบบปกติดูสิ มันใช้พลังงานไปครึ่งหนึ่งเพื่อทำความร้อนให้อากาศ ซึ่งเป็นวิธีที่ไม่มีประสิทธิภาพเลย แต่อินฟราเรดนั้นแตกต่างออกไป มันส่งโฟตอนไปทำให้โมเลกุลของน้ำสั่นสะเทือน ซึ่งจะทำให้น้ำระเหยออกอย่างรวดเร็ว</p> <p>เนื่องจากความร้อนถูกส่งไปยังจุดที่ต้องการโดยตรง จึงไม่จำเป็นต้องใช้เครื่องจักรขนาดใหญ่ นอกจากนี้ ด้วยการเปลี่ยนมาใช้เทคโนโลยีอินฟราเรด ก็ช่วยลดการใช้สารเคมีหระบบการไหลเวียนอากาศขนาดใหญ่ที่มักจะก่อให้เกิดปัญหาได้</p> <p><strong>การควบคุมอุณหภูมิ</strong><br> การเพิ่มความร้อนอย่างเดียวไม่เพียงพอ เราต้องควบคุมอุณหภูมิอย่างระมัดระวังด้วย หลอดไฟที่มีกำลังสูงช่วยเร่งกระบวนการได้ แต่ก็มีข้อเสีย หากตำแหน่งการวางหลอดไฟไม่ถูกต้อง หรือการควบคุมกำลังไฟไม่ดี ก็จะเกิดจุดร้อนขึ้น ซึ่งอาจทำให้โครงสร้างของ MEMS เสียหายได้</p> <p>เพื่อหลีกเลี่ยงปัญหานี้ เราจึงใช้ตัวควบคุม PID ที่มีความแม่นยำสูง นอกจากนี้ เรายังใช้ระบบสุญญากาศหรือก๊าซที่ไม่ก่อให้เกิดการเกิดออกซิเดชัน เพื่อป้องกันไม่ให้แผ่นวัสดุเสียหาย ทั้งหมดนี้ล้วนเป็นเรื่องของการควบคุม</p> <p><strong>การปรับให้เหมาะกับกระบวนการผลิต</strong><br> เราออกแบบระบบนี้ให้สามารถใช้แทนเตาอบแบบเก่าได้อย่างง่ายดาย เราใช้ฉลากควอตซ์เพื่อป้องกันไม่ให้ไอออนโลหะเข้าไปสัมผัสกับแผ่นวัสดุ นอกจากนี้ ระบบนี้ยังสามารถเปิด/ปิดได้ในเวลาเพียงไม่กี่มิลลิวินาที ซึ่งหมายความว่าคุณไม่ต้องกังวลว่าแผ่นวัสดุจะมีอุณหภูมิสูงเกินไปจนเสียหาย</p> <p>และเมื่อหลอดไฟเสียไป คุณก็ไม่จำเป็นต้องรื้อระบบทั้งหมดออก แค่เปลี่ยนหลอดไฟใหม่ก็สามารถกลับมาใช้งานได้ทันที</p>