http://radiant-ir-heater.com/tr/tags/boyalay%C4%B1c%C4%B1/ Recent content in Boyalayıcı on Radiant Infrared Heating Hugo tr Sat, 20 Jun 2026 02:23:20 +0800 http://radiant-ir-heater.com/tr/posts/coater-developer-infrared-heater/ Sat, 20 Jun 2026 02:23:20 +0800 http://radiant-ir-heater.com/tr/posts/coater-developer-infrared-heater/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Boya verici geliştirici kızılötesi ısıtıcı"></p> <p>Litografi işlemlerinde, yumuşak veya sert pişirme sürecinde meydana gelen 0,5°C’lik bir sapma “küçük bir sapma” olarak değerlendirilemez. Bu durum, üretim verimliliğinin düşmesine neden olur; bu durum CD’nin düzgünlüğü grafiğinde ve atık malzemelerde açıkça görülebilir. Kaplama/developman cihazlarındaki kızılötesi ısıtıcılar, termal stabiliteyi optik sistemler ve fotoresistlerle uyumlu tutmak zorundadır.</p> <p>Bu ısıtıcıyı, wafer seviyesinde kontrol sağlayacak şekilde tasarladık. Kızılötesi ışın yayan elemanlar, enerjiyi doğrudan waferin üzerine aktarır; böylece odanın termal dengesi bozulmadan hızlı pişirme işlemleri gerçekleştirilebilir. Waferin tüm yüzeyindeki düzgünlük ±0,1°C civarında kalır; bu da kenar kısımların da merkez kısımlarla aynı pişirme koşullarını aldığı anlamına gelir.</p>