Litografi katında zaman asla sizin yanınızda değildir. 2°C bile sapabilen bir soft bake, çözücü buharlaşmasını etkiler, fotoresistin akışını...

Zeminde, hat çalışıyor. Litografi hücreleri, wafer’ları soft bake ve hard bake aşamalarından geçiriyor ve sıcaklık set noktaları sabitlenmiş durumda....