Wafer için hassas IR sensörü

Sat, 25 Jul 2026 02:32:29 +0800

Havayı ısıtmayı bırakın: Waferleri işlemek için daha akıllıca bir yöntem
Eski dirençli fırınlardan bahsedelim. Elbette iş görüyorlar, ancak aslında devasa ısıtıcılar gibi işlev görüyorlar. Waferleri istenen sıcaklığa getirmek için tüm odanın ve içindeki havanın ısınması gerekiyor; bu da büyük bir israf demektir.

Bu yüzden kızılötesi ısıtma yöntemine geçtik. Tüm odayı ısıtmak yerine, ısıyı doğrudan waferin üzerine yönlendiriyoruz. Bu yöntem daha temiz, daha hızlıdır ve ayrıca temiz oda düzeneğinin gereksiz yere enerji tüketmesini engeller.

Sıcaklığı tam olarak ayarlamak
Bu alanda, sıcaklıkta en ufak bir sapma bile, bir partiyi pahalı atık haline getirebilir. Bu, kimsenin istemediği bir durumdur.

Fab IR için voltaj regülatörü

Tue, 09 Jun 2026 01:15:55 +0800

Fab zemininde, foto direnç pişirme isteğe bağlı değildir - bu, uyulması gereken bir toleranstır. Wafer üzerindeki 0.5°C’lik bir kayma, pozlamadan sonra hat genişliği değişikliği olarak ortaya çıkar ve bu da verim kaybına dönüşür, açık ve basit. Fab IR için voltaj regülatörümüzü, termal profilin ihtiyaç duyduğu yerde kalmasını sağlamak için inşa ettik: stabil, tekrarlanabilir ve kontrol altında.

Teknik olarak önemli olan IR hızlı ısınır, bu doğru, ancak ısı alanı uniform olmadıkça faydalı değildir. Regülatörümüz, IR émitör hattında sıkı voltaj kontrolü sağlar, bu nedenle çıkış, hat sarkması ve yük değişimi olmasına rağmen sabit kalır. Sıcak alan boyunca sub-milimetre uniformluğu elde edersiniz ve wafer düzleminde ±0.1°C ayar noktası stabilitesi sağlanır. Bu bir slogan değildir - bu, termal gradyanda ölçülebilir bir kesintidir. Birim, 1-100 Sınıfı için temiz oda uyumlu olup, parçacık sayısını azaltmak için malzeme ve ambalaj seçilmiştir. Sıfır parçacık üretimi hedefidir ve bunu süreç içi izleme ile takip ediyoruz.

IR on Radiant Infrared Heating

Wafer için hassas IR sensörü

Fab IR için voltaj regülatörü