Kızılötesi ile etkili foto direnç pişirme
Litografi işlemlerinde, fırın sıcaklığında meydana gelen 0,5°C’lik bir değişiklik bile tüm ürün partisini işe yaramaz hale getirebilir. “Yumuşak...
Spin kaplama pişirme lambası
Litografi katında, pişirme bir duraklama değildir—o, sınır çizgisidir. Soft bake, fotoresist solventini giderir. Hard bake, maskenin etch öncesi...