http://radiant-ir-heater.com/uk/tags/%D1%81%D0%BF%D1%96%D0%BD/ Recent content in Спін on Radiant Infrared Heating Hugo uk Sun, 07 Jun 2026 01:32:58 +0800 http://radiant-ir-heater.com/uk/posts/spin-coater-bake-lamp/ Sun, 07 Jun 2026 01:32:58 +0800 http://radiant-ir-heater.com/uk/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Лампа для випікання спін котера"></p> <p>На литографічному поверсі випікання — це не пауза, а лінія, яку не можна переступати. Soft bake видаляє розчинник з фотошаблону. Hard bake фіксує маску перед травленням. Якщо лампа починає зсуватися, це швидко позначається на якості: нерівномірний критичний розмір, «крайова кромка» та залишки після проявлення. Саме тому існує лампа для випікання на спін-котерах — щоб усунути теплові припущення з процесу.</p> <p><strong>Що важливо всередині</strong><br> Ми побудували лампу для випікання на короткохвильовому інфрачервоному випромінюванні в кварцовому корпусі, оскільки вона миттєво передає енергію безпосередньо в шар фотошаблону. Результат — термальна однорідність на рівні пластини в межах ±0.1°C по всьому діаметру покриття, а також відтворюваність між партіями. Час реакції — менше секунди, тому тепловий бюджет суворо контролюється, а профіль випікання точно відповідає рецепту без перерізів. Лампа працює у чистих приміщеннях класу 1–100 і спроектована так, щоб не виділяти частинок — адже в цій галузі кожен аерозольний дефект знижує вихід продукції.</p>